アパーチャー・コリメーター・オリフィス

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良好な精度で滑らかに孔を仕上げ、
高品位な製品を提供

光や流体の絞り、流量制御として使われています。
電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーは、穴の品位はもちろんのこと、帯電によるビームの乱れが発生しないように平滑な面や汚れのない仕上がりが求められます。

用途

  • 電子ビームやイオンビーム、X線の絞り・流量制御
  • 計測・検査
  • 理化学機器
  • 真空部品

特長

  • 超微細穴の深穴加工が可能です。(例:穴径Φ0.003mm 厚み 0.010mm)
  • 最小穴径はΦ0.003mmからとなります。
  • 材質はSUS、Mo、Ta等ご相談に応じます。

製品加工例

アパーチャーのキーポイントである孔を、良好な精度で滑らかに仕上げます。
その他、レーザーやFIBなど孔のスペックに応じて様々な加工方法で対応いたします。

X線コリメーターの加工例

穴径 0.003mm
厚み 0.010mm(L/D=2倍)
材質 タングステン
穴径 0.050mm
厚み 0.010mm(L/D=2倍)
材質 タングステン
穴径 0.025mm
厚み 0.010mm(L/D=2倍)
材質 タングステン

この製品に使用された主な技術はこちら

こんな時にご相談ください